(相关资料图)
据中微公司公众号，近日，公司先进薄膜设备累计出货突破500个反应台，产品涵盖低压化学气相沉积（LPCVD）设备、金属薄膜沉积（MDP）设备、介质薄膜沉积（DDP）设备等多款核心机型。此次突破，标志着中微公司在高端薄膜沉积设备领域已实现规模化商用，薄膜设备业务已成长为公司又一核心增长板块。
关键词： 中微公司 薄膜设备 薄膜沉积 设备 突破 薄膜 先进 累计 反应 沉积
(相关资料图)
